АО НИИТМ

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ С ICP ИСТОЧНИКОМ И ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ: Изофаз ТМ 200-01 от $90,000 Четырехпозиционная вакуумная установка с магнетронными распылительными системами МАГНА ТМ 5. от $90,000 ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ СЛОЕВ С ICP ИСТОЧНИКОМ И ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ ИЗ КАССЕТЫВ КАССЕТУ ПЛАЗМА ТМ 300 от $90,000 МАЛОГАБАРИТНАЯ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛА НА ПОДЛОЖКУ МВУ ТМ МАГНА 12 от $90,000 МАЛОГАБАРИТНАЯ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ ОЧИСТКИ, УДАЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА И СТЕРИЛИЗАЦИИ ПЛАЗМА ТМ 4 от $15,000 Промышленно-ориентированный технологический комплекс Кластер ТМ 200 от $900,000 Эпифаз ТМ 200-01 от $900,000 ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ ИЗ КАССЕТЫ В КАССЕТУ МАГНА ТМ 29 от $90,000 ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ С ICP ИСТОЧНИКОМ И ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ ИЗ КАССЕТЫ В КАССЕТУ от $90,000 МАЛОГАБАРИТНАЯ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ГЛУБОКОГО АНИЗОТРОПНОГО ТРАВЛЕНИЯ МВУ ТМ ПЛАЗМА 06 от $42,000 Установка плазмохимического анизотропного селективного травления Плазма ТМ 200-01 от $90,000 ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ МАГНА ТМ 22 от $90,000 Вакуумная установка нанесения плёнок методом магнетронного распыления МАГНА ТМ 7 от $42,000 ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ МАГНА ТМ 22 от $90,000 ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ СЛОЕВ С ICP ИСТОЧНИКОМ ПЛАЗМА ТМ 9 от $90,000 Вакуумная установка реактивно-ионного травления слоёв со шлюзовой загрузкой ПЛАЗМА ТМ 7 от $42,000 ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ СЛОЕВ СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ ИЗ КАССЕТЫ В КАССЕТУ ПЛАЗМА ТМ 8 от $90,000 Четырёхпозиционная вакуумная установка нанесения плёнок методом магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения со шлюз от $90,000