Групповая обработка подложек в одном технологическом цикле: Ø 76 мм – 15 шт.; Ø 100 мм – 9 шт.; Ø 150 мм – 3 шт.
Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек (Позиция 1);
Система переноса подложек из шлюзовой камеры в две рабочие позиции (2, 3) транспортной каруселью;
Мультикатодное МРУ с тремя мишенями Ø100 мм;
Четырёхтигельный электронно-лучевой испаритель;
Предварительный нагрев подложек и их очистка с помощью источника ионов;
Безмасляная (сухая) откачка на базе форвакуумного и туромолекулярного или криогенного насосов;
Микропроцессорная система управления;
Мощность потребления не более 20 кВт;
Площадь, занимаемая одной установкой ~ 6м2
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков