Согласующее устройство радиочастотное автоматическое СУРА предназначено для обеспечения согласования нагрузки, обладающей переменным импедансом, с коаксиальным кабелем и выходом высокочастотного генератора в ручном и автоматическом режимах.
Согласующее устройство СУРА снабжено:
- системой блокировок в аварийных ситуациях
- управлением по протоколу Modbus RTU
- интерфейс RS-485
*Устройство может поставляться в двух исполнениях: для индуктивных и ёмкостных нагрузок.
Индуктивные нагрузки - индукционные газоразрядные системы, в том числе радиочастотные плазменные генераторы.
Ёмкостные нагрузки - высокочастотные магнетронные распылительные системы, столы с подачей высокочастотного смещения, высокочастотные системы очистки в тлеющем разряде.
Руководство по эксплуатации предоставляется по запросу: ЛЦМК.303.00.00.00.000 РЭ СОГЛАСУЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО СУРА-3000-50-13
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков