Товары — Система плазменного травления
Установка плазмохимического анизотропного селективного травления Плазма ТМ 200-01
US$90,000-300,000
Width:
2000
Length:
4000
АО НИИТМ 🇷🇺
Установка травления фоторезиста в удаленной плазме РЛГЕ.443125.001 (коммерческое наименование «Vega VS-100-G»)
US$15,000-48,000
Self-diagnostic function when the plant is switched on:
Yes; no
Introduced defectivity, not more:
Particles larger than 0.3 microns, not exceeding 0.06 particles/cm2
ООО "КВАНТ" 🇷🇺
ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ СЛОЕВ С ICP ИСТОЧНИКОМ ПЛАЗМА ТМ 9
US$90,000-300,000
Width:
2500
Length:
3350
АО НИИТМ 🇷🇺