Групповая и индивидуальная обработка подложек на
подложкодержателе в одном технологическом цикле:
60х48 мм – 7 шт.; Ø 76мм – 4 шт.; Ø 100, 150, 200мм – 1 шт.;
Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек;
Транспортная система переноса подложек из шлюзовой
камеры в рабочую камеру на основе манипулятора;
Рабочие газы: CL₂, HBr, SF₆, O2, CF₄, He, N₂.;
Гелиевое охлаждение и механический прижим пластин;
Мощность потребления не более 14 кВт;
Безмасляная система откачки;
Возможность встраивания в чистую комнату.
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков