Модуль загрузки-выгрузки вакуумный многопозиционный РЛГЕ.443295.001 (ВМЗВМП) с системой вакуумного шлюзования, манипулятором перемещения пластины внутри модуля, транспортной ка-мерой на несколько позиций технологических станций, системой перемещения пластин между технологическими станциями и системой герметизации рабочих объемов технологических станций предназначен для установки контейнера герметичного с полупроводниковой пластиной 100 мм
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков