Индивидуальная или групповая обработка подложек или пластин на планетарном подложкодержателе в одном технологическом цикле: 60х48, Ø76мм, Ø100мм, Ø150мм;
Мультикатодное МРУ с четырьмя мишенями Ø76мм;
Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек;
Планетарный двухстепенной подложкодержатель;
Предварительный нагрев подложек и их очистка с помощью источника ионов в шлюзовой камере;
Нанесение пленок в рабочей камере одним, двумя, тремя, четырьмя магнетронами;
Безмасляная система откачки;
Мощность потребления не более 20 кВт;
Возможность встраивания в чистую комнату.
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков