Унифицированная платформа вакуумных напылительных установок Saha предназначена для создания малогабаритного напылительного оборудования. Установки, построенные на данной платформе, используются в лабораториях и на мелкосерийном производстве. Ключевой особенностью данной платформы является размещение подложек и технологических устройств внутри вакуумной камеры, при котором значительно упрощается технологическое обслуживание и загрузка-выгрузка. Данное решение реализовано с помощью цилиндрической вакуумной камеры колпакового типа, перемещаемой вертикально вдоль своей оси.
Преимущества
•Полный всесторонний доступ к напылительным устройствам и подложкам.
•Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304.
•Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки.
•Использование только «сухих» вакуумных насосов: спирал...
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков