Безэлектродный радиочастотный генератор плазмы предназначен для создания и поддержания газоразрядной низкотемпературной плазмы в рабочих объёмах вакуумных технологических установок в непрерывном режиме и применяется при:
- напылении материалов в плазме инертных или химически активных газов
- ионном и плазмохимическом травлении
- испарении, с дополнительной ионизацией паров
- плазмостимулированном осаждении из газовой фазы
- ионной модификации поверхности (окисление, восстановление, азотирование, карбидизация и т.п.)
- ионной очистки и ассистировании
- высокотемпературном отжиге
РПГ-128 снабжен:
- плоской катушкой
- съёмным защитным экраном из кварцевого стекла для защиты рабочей поверхности
- коаксиальным вводом с хвостовиком для подключения источника ВЧ мощности
*Руководство по эксплуатации предоставляется по запросу: ЛЦМК.219.00.00.00.000-04 РЭ РАДИОЧАСТОТНЫЙ ГЕНЕРАТОР ПЛАЗМЫ РПГ-128
Допускается поставка устройства в составе установки без упаковывания.
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков