Установка, выполняющая работы с реакторами ПХО (PECVD), находящимися в отдалении друг от друга с одновременной загрузкой/выгрузкой полуфабрикатов в/из реакторов, и имеющая расширенный функционал с целью возможности применения в режиме постоянного производства в связке с PECVD установками типа KAI А-типа и KAI В-типа с целью автоматизации процесса загрузки и разгрузки палет PECVD кремниевыми пластинами, автоматического переворота пластин после снятия с палет после KAI А-типа перед укладкой на палеты для обработки на KAI В-типа, отбраковки обработанных на KAI В-типа пластин по изображению фотолюминесценции при опциональной интеграции установки в текущую систему автоматизации производства фотоэлектрических полупроводниковых преобразователей LCS.
Кремниевые пластины в дальнейшем используются для сборки фотоэлектрических солнечных панелей (полупроводниковых устройств) для выработки электроэнергии.
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков