Установка вакуумного напыления «Оратория 9-1»
Автоматизированная установка «Оратория 9-1» электронно-лучевого осаждения многослойных тонких пленок из металлов, сплавов и диэлектриков на керамические и кремниевые пластины.
Основные технологические характеристики установки:
-Размер керамических подложек, мм – 60х48;
-Размер кремниевых подложек диаметром, мм – 100;
-Количество подложек на карусели планетарной, шт – 4;
-Количество подложек на карусели сферической, шт – 40;
-Количество электронно-лучевых испарителей, шт – 2;
-Диапазон температуры нагрева подложек – 20-400 градусов Цельсия;
-Вращение карусели дискретное (угол дискретности 90 градусов)
Установка обеспечивает:
-Нагрев подложек до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;
-Автоматическое выполнение цикла откачки рабочей камеры от атмосферы до заданного вакуума;
-Контроль и автоматическое окончание напыления пленок по заданному времени или по заданной толщине плен...
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков