1
Описание запроса
2
Контактные данные
Что вам нужно?

Опишите товар или услугу, которую вы ищете

Ваши контактные данные

Мы свяжемся с вами в ближайшее время

Запрос отправлен!

Спасибо! Мы свяжемся с вами в ближайшее время с лучшими предложениями.

Радиочастотный генератор плазмы РПГ-250

Радиочастотный генератор плазмы РПГ-250 — ООО "ЛВТ+"

Бренд: RPG
$1,500 - $6,000 USD
MOQ: 1 pieces

Ключевые характеристики

Назначение: Создание и поддержание газоразрядной низкотемпературной плазмы в рабочих объёмах вакуумных технологических установок в непрерывном режиме.
Пылевлагозащита: Есть
Охлаждение: Водяное
Тип конструкции: Встраиваемый

Описание

Безэлектродный радиочастотный генератор плазмы предназначен для создания и поддержания газоразрядной низкотемпературной плазмы в рабочих объёмах вакуумных технологических установок в непрерывном режиме и применяется при:
- напылении материалов в плазме инертных или химически активных газов
- ионном и плазмохимическом травлении
- испарении, с дополнительной ионизацией паров
- плазмостимулированном осаждении из газовой фазы
- ионной модификации поверхности (окисление, восстановление, азотирование, карбидизация)
- ионной очистки и ассистировании
- высокотемпературном отжиге

РПГ-250 снабжен:
- плоской катушкой
- съёмным защитным экраном из кварцевого стекла для защиты рабочей поверхности
- коаксиальным вводом с хвостовиком для подключения к источнику ВЧ мощности

*Руководство по эксплуатации предоставляется по запросу: ЛЦМК.208.00.00.00.000 РЭ РАДИОЧАСТОТНЫЙ ГЕНЕРАТОР ПЛАЗМЫ РПГ-250
Допускается поставка устройства в составе установки без упаковывания.

Характеристики

Назначение
Создание и поддержание газоразрядной низкотемпературной плазмы в рабочих объёмах вакуумных технологических установок в непрерывном режиме.
Пылевлагозащита
Есть
Охлаждение
Водяное
Тип конструкции
Встраиваемый
Гарантийный срок
1 кВ.А Р
Климатические исполнения
ГОСТ 15150-69; ГОСТ 15543-70 при нормальных значениях климатических факторов внешней среды - УХЛ для категории размещения изделий 4.2
Рабочая частота генератора для возбуждения газоразрядной низкотемпературной плазмы
13,56
Максимальная подводимая ВЧ мощность
1500 см[3*];^мл
Минимальная ВЧ мощность
300 см[3*];^мл
Минимальное расстояние между рабочей плоскостью устройства и проводящими деталями, не менее
75 мм
Диапазон рабочих давлений
0,1-10
Плотность ионного тока на обрабатываемом образце, расположенном на расстоянии от рабочей плоскости устройства 150 мм, не менее м
10*
Рабочий газ
Любой, не вызывающий осаждения низкоомных слоёв на деталях устройства
Минимальный диаметр цилиндрической рабочей камеры при осевом расположении устройства
250 мм
Минимальный расход охлаждающей жидкости, не менее л/мин
1,5
Минимальная разница давлений между подачей и сливом охлаждающей жидкости
0,2 10[3*] т единовр. хран
Габаритные размеры, (общая длина х диаметр корпуса х высота корпуса х диаметр ввода х длина ввода)
H275 х Ø234 х h57 х Ø56 х h150 мм
Масса, не более
4,5 м[2*] жил. пл

Похожие товары

Plasma Radio Frequency Generator RPG-128 with Extended Input

Радиочастотный генератор плазмы РПГ-128 (с удлинённым вводом)

$1,500-$6,000 USD
Maximum RF power input: 1500
Execution: 04 type (with extended inlet)
ООО "ЛВТ+" 🇷🇺
Plasma Radiofrequency Generator RPG-128 (Short Input Version)

Радиочастотный генератор плазмы РПГ-128 (с укороченным вводом)

$1,500-$4,800 USD
Maximum RF power input: 1500
Execution: 02 type (with shortened inlet)
ООО "ЛВТ+" 🇷🇺
TVV-800-2EU3 Three-Phase Synchronous Turbo Generator

Турбогенератор синхронный трехфазный типа ТВВ-800-2ЕУ3 Сургутская ГРЭС-2

$1,500,000-$4,200,000 USD
Active power: 830
Weight of turbine generator: 552000
АО "СИЛОВЫЕ МАШИНЫ" 🇷🇺
Vertical Three-Stage Cylindrical Gear Reducer V-400 for Crane Systems

Редуктор цилиндрический трехступенчатый вертикальный крановый В - 400

$900-$3,600 USD
Number of steps: 3
Number of steps: 3
ООО ПТЦ "ПРИВОД" 🇷🇺
Vertical Synchronous Motor VDS-375/105-24UHL4

Двигатель синхронный вертикальный ВДС-375/105-24УХЛ4

$42,000-$180,000 USD
Power: 12500
Designation: ???-375/105-24???4
ООО "УРАЛГИДРОМАШ" 🇷🇺
Brushless Synchronous Generator GС-900-B(1)-(P)-(ZУ)-(T)-KM(2)-(K) U2(OM4)

Генератор синхронный бесщеточный (1)ГС-900-Б(1)-(П)-(ЗУ)-(Т)-КМ(2)-(К) У2(ОМ4)

$15,000-$42,000 USD
Voltage: 400
Name: Brushless synchronous generator
АО "ЭЛЕКТРОАГРЕГАТ" 🇷🇺
Fine Module Planetary Gearbox MPR-100-135-500

Мелкомодульный планетарный редуктор МПР-100-135-500

$90-$300 USD
Height: 53
Width: 92
ООО НПК "КАЛИБР" 🇷🇺
Gas Thermodynamics Laboratory Setup for Studying Heat Transfer (TOT-TG)

Лабораторная установка по изучению теплотехники газа (ТОТ-ТГ)

$900-$3,000 USD
Overall dimensions WxHxH: 1020x650x1600
Power consumption: 3.5
ООО "ТРИМБИРТ" 🇷🇺
DC Motor DD37T5 for Starting Compressor

Электродвигатель ДД37Т5

$90-$300 USD
Overall dimensions: 81x128x163 mm
Overall dimensions: 81x128x163 mm
АО "ЭЛЕКТРОПРИВОД" 🇷🇺
Asynchronous Roller Motors with Power Ranging from 750W to 75kW ARMK

Двигатели асинхронные рольганговые мощностью от 750 Вт до 75 кВт АРМК

$180-$3,600 USD
Frequency of supply voltage: 60
Climatic version: Y1, Y3, CHL1, T1, T2
ООО "НПО СИБЭЛЕКТРОМОТОР" 🇷🇺
Traction Motor DTC-800K for Electric Locomotives

двигатель тяговый ДТК-800К

$9,000-$30,000 USD
Power on shaft: 800
Nominal voltage: 1500
ООО "ТМХ-ЭЛЕКТРОТЕХ" 🇷🇺
Diesel Generator Station ED8-T400-1VPM1

Электростанция ЭД8-Т400-1ВПМ1

$9,000-$30,000 USD
Power: 8
Voltage: 400
АО "ЭЛЕКТРОАГРЕГАТ" 🇷🇺
Aviation Integrating Engine-Generator Element IE-1M 026.71.00 TU ОАО "У-У ППО" Russia

Элемент систем электротехники авиационный Интегрирующий двигатель-генератор ИЭ-1М 026.71.00 ТУ ОАО "У-У ППО" Россия

$90-$360 USD
Dimensions: D=30 L=90
Voltage: 15
Акционерное общество "Улан-Удэнское приборостроительное 🇷🇺
DM-185 Diesel Engine for Advanced Power Solutions

Двигатель дизельный ДМ-185

$90,000-$360,000 USD
Power: 750...4500
Cylindrical capacity: 120...234
ООО "УДМЗ" 🇷🇺
Diesel Engine MMZ-3LD for Construction and Generators

Дизельный двигатель MMZ-3LD

$3,000-$9,000 USD
Rated power: Built-in memory card slot, support microSD/SDHC/SDXC card (up to 256GB); manual recording/alarm recording
liter: 6
ООО "ТД "ММЗ" 🇷🇺
3-Phase Power Supply Unit AD100-T400-RM2

Электроагрегат АД100-Т400-РМ2

$15,000-$48,000 USD
Power: 100
Voltage: 400
АО "ЭЛЕКТРОАГРЕГАТ" 🇷🇺
Autonomous Power Supply System ED2x30-T400-3RA

Система автономного электроснабжения ЭД2х30-Т400-3РА

$90,000-$300,000 USD
Power: 30
Voltage: 400
АО "ЭЛЕКТРОАГРЕГАТ" 🇷🇺
2DMShN 100 Three-Phase Asynchronous Motor 1.1-2.2kW

Двигатели асинхронные трехфазные 2ДМШН 100, 2ДМШМН 100 (1,1-2.2 кВт)

$180-$720 USD
Power: 1.1...2.2
Degree of protection: 54,55
ЗАО "УРАЛЭЛЕКТРОМАШ" 🇷🇺
Three-Phase Power Generator 400V 50Hz Model AD150-T400-1RP

Электроагрегат АД150-Т400-1РП

$9,000-$30,000 USD
Power: 150
Voltage: 400
АО "ЭЛЕКТРОАГРЕГАТ" 🇷🇺
Chain Transmission Laboratory Setup LS0196

ЛС0196 Лабораторная установка "Передачи цепные"

$900-$3,000 USD
Length: 800
Width: 600
ООО "ЗИЛУО" 🇷🇺
Запрос через WhatsApp